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[M] Ion implantation technology : proceedings of the Seventh International Conference on Ion Implantation Technology, Kyoto, Japan, June 7-10, 1988 冊子体

edited under the responsibility of T. Takagi ... [et al.]
著者: 出版者: North-Holland (出版日: 1989)

代替タイトル: Ion implantation technology 7
雑誌・シリーズ情報:
  • Nuclear instruments & methods in physics research Section B. Beam interactions with materials and atoms ; v.37-38
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: xx, 994 p. ; 27 cm
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アブストラクト:

注記:

Includes bibliographical references and index
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
525043 並木 単行書10 画像 539.1|| 在架（利用可能）