資料の表示
[M]
Silicon front-end junction formation : physics and technology : symposium held April 13-15, 2004, San Francisco, California, U.S.A. 
editors, Peter Pichler ... [et al.]
著者: Pichler, Peter 出版者: Materials Research Society (出版日: 2004)
| 雑誌・シリーズ情報: |
|
| 形態: |
冊子体
|
| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xvi, 494 p. ; 24 cm |
| 件名: | |
| 分類: | |
| タグ: |
|
| 識別子: |
ISBN: 9781558997608
NCID: BA68606972
|
| アブストラクト: | |
| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
|---|
