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[M] Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication Vol.1 Microlithography Vol.1 Microlithography PM39 冊子体

著者: 出版者: SPIE Optical Engineering Press, IEE (出版日: 1997)

雑誌・シリーズ情報:
  • IEE Materials and Devices Series
版:
巻号: 巻: PM39
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: 768p; 26cm
件名:
分類:
識別子: ISBN: 9780819423788
アブストラクト:

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
218623 千現 参考図書23 画像 621.3|R|11306 在架(利用可能)