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[M] Microlithography : us 冊子体


著者: 出版者: SPIE Optical Engineering Press Institution of Electrical Engineers (出版日: 1997)

雑誌・シリーズ情報:
  • IEE materials & devices series 12 . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication ; v. 1
版:
巻号: 巻: : us
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: viii, 768 p. ; 26 cm
件名:
分類:
タグ:
識別子: ISBN: 9780819423788
アブストラクト:

注記:

"SPIE press monograph PM39"//Includes bibliographical references and index
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
218623 千現 書庫8 画像 621.3|R|11306 在架（利用可能）
貸出不可