資料の表示
[M]
Chemical-mechanical planarization - integration technology and realiability : symposium held March 28-31, 2005, San Francisco, California, U.S.A. 
editors, Ashok Kumar ... [et al.]
著者: Materials Research Society Kumar, Ashok 出版者: Materials Research Society
| 雑誌・シリーズ情報: |
|
| 形態: |
冊子体
|
| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xi, 302 p. ; 24 cm |
| 件名: | |
| 分類: | |
| タグ: |
|
| 識別子: |
ISBN: 9781558998209
NCID: BA73187551
|
| アブストラクト: | |
| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
|---|
| 所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
|---|---|---|---|---|
| 219785 | 千現 |
プロシーディングス26 
|
MRS|P|12137 | 在架（利用可能） |