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Advances and Challenges in Chemical Mechanical Planarization: Symposium held April 10-12, 2007, San Francisco, California, U.S.A.: MRS Vol.991 Vol.991 Vol.991 
著者: editors, Gerfried Zwicker, Christopher Borst, Laertis Economikos, Ara Philipossian 出版者: Materials Research Society (MRS)
(出版日: 2007)
| 版: | |
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| 巻号: | 巻: Vol.991 |
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 371p; 24cm |
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| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: | ISBN: 9781558999510 |
| アブストラクト: | |
| 注記: |
| 所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
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| 211018 | 千現 |
プロシーディングス26 
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MRS|P|12461 | 在架（利用可能） |