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The chemistry of metal CVD 
edited by Toivo T. Kodas and Mark J. Hampden-Smith
著者:
Kodas, Toivo T. (Toivo Tarmo) Hampden-Smith, Mark J. 協力者・編者:
edited by Toivo T. Kodas, Mark J. Hampden-Smith 出版者:
VCH (出版日:
1994)
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xxiv, 530 p. ; 25 cm |
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| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: |
ISBN: 9783527290710
NCID: BA24145974
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
Includes bibliographical references |
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