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The chemistry of metal CVD 
edited by Toivo T. Kodas and Mark J. Hampden-Smith
著者: Kodas, Toivo T. (Toivo Tarmo) Hampden-Smith, Mark J. 協力者・編者: edited by Toivo T. Kodas, Mark J. Hampden-Smith 出版者: VCH (出版日: 1994)
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xxiv, 530 p. ; 25 cm |
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ISBN: 9783527290710
NCID: BA24145974
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| 注記: |
Includes bibliographical references |
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