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Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A. 
editors, Arthur H. Heuer, S. Jushua Jacobs
著者: Heuer, A. H. (Arthur Harold) Jacobs, S. Joshua 出版者: Materials Research Society (出版日: 1999)
貸出区分: 標準
貸出状態: 除籍済み
請求記号: MRS|P|11068
原簿番号:
所蔵情報ID: 218328
付録を含む: いいえ
閲覧に必要な権限: Guest
受入日: 2000年06月12日
業務用メモ:
受入時刻:
作成時刻: 2010/12/15 23:37:03
更新時刻: 2025/05/12 09:55:08