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Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A.
editors, Arthur H. Heuer, S. Jushua Jacobs
著者: Heuer, A. H. (Arthur Harold) Jacobs, S. Joshua 出版者: Materials Research Society (出版日: 1999)
雑誌・シリーズ情報: |
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形態: |
![]() |
言語: | English |
ページ数と大きさ: | ix, 246 p. ; 24 cm |
件名: | |
分類: | |
タグ: |
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識別子: |
ISBN: 9781558994522
NCID: BA44647909
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アブストラクト: | |
注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
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