[M] Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices : Symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A. ; MRS Vol.546 Vol.546 Vol.546

著者: editors, Arthur H. Heuer, S. Joshua Jacobs 出版者: Materials Research Society (MRS) (出版日: 1999)

• 書誌詳細

版:
巻号:	巻: Vol.546
形態:	冊子体
言語:	English
ページ数と大きさ:	246p; 24cm
件名:
分類:	UDC: MRS
タグ:
識別子:	ISBN: 9781558994522
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
602553	並木	単行書17	681|H|	在架（利用可能）
218328	千現	プロシーディングス26	MRS|P|11068	在架（利用可能）

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