資料の表示
[M]
Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices : Symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A. ; MRS Vol.546 Vol.546 Vol.546
著者: editors, Arthur H. Heuer, S. Joshua Jacobs 出版者: Materials Research Society (MRS) (出版日: 1999)
版: | |
---|---|
巻号: | 巻: Vol.546 |
形態: |
|
言語: | English |
ページ数と大きさ: | 246p; 24cm |
件名: | |
分類: | |
識別子: | ISBN: 9781558994522 |
アブストラクト: | |
注記: |
所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
---|---|---|---|---|
218328 | 千現 |
プロシーディングス26 ![]() |
MRS|P|11068 | 在架(利用可能) |