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Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A. 
editors, Arthur H. Heuer, S. Jushua Jacobs
著者: Heuer, A. H. (Arthur Harold) Jacobs, S. Joshua 出版者: Materials Research Society
| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | ix, 246 p. ; 24 cm |
| 件名: | |
| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558994522
NCID: BA44647909
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
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| 所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
|---|---|---|---|---|
| 602553 | 並木 |
単行書17 
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681|H| | 在架（利用可能） |
| 218328 | 千現 |
プロシーディングス26
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MRS|P|11068 | 在架（利用可能） |