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Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices : Symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A. ; MRS Vol.546 Vol.546 Vol.546 
著者: editors, Arthur H. Heuer, S. Joshua Jacobs 出版者: Materials Research Society (MRS) (出版日: 1999)
| 版: | |
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| 巻号: | 巻: Vol.546 |
| 形態: |
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 246p; 24cm |
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| 分類: | |
| 識別子: | ISBN: 9781558994522 |
| アブストラクト: |
| 所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
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| 218328 | 千現 |
プロシーディングス26 
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MRS|P|11068 | 在架（利用可能） |