資料の表示
[M]
Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices : Symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A. ; MRS Vol.546 Vol.546 Vol.546 
著者: editors, Arthur H. Heuer, S. Joshua Jacobs 出版者: Materials Research Society (MRS) (出版日: 1999)
| 版: | |
|---|---|
| 巻号: | 巻: Vol.546 |
| 形態: |
|
| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 246p; 24cm |
| 件名: | |
| 分類: | |
| 識別子: | ISBN: 9781558994522 |
| アブストラクト: | |
| 注記: |
| 所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
|---|---|---|---|---|
| 218328 | 千現 |
プロシーディングス26 
|
MRS|P|11068 | 在架（利用可能） |