[M] Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices II : symposium held November 29-December 1, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, Maarten P. de Boer ... [et al.]
著者: P. de Boer, Maarten 出版者: Materials Research Society (出版日: 2000)

資料: Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices II : symposium held November 29-December 1, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A.

本棚: 集密書庫60 (並木)

貸出区分: 標準

貸出状態: 在架（利用可能）

請求記号: MRS|P|605

原簿番号:

所蔵情報ID: 218782

付録を含む: いいえ

閲覧に必要な権限: Guest

受入日: 2001年03月21日

業務用メモ:

受入時刻:

作成時刻: 2010/12/15 23:37:10

更新時刻: 2025/12/03 16:34:39