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Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices II : symposium held November 29-December 1, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A. 
editors, Maarten P. de Boer ... [et al.]
著者: P. de Boer, Maarten 出版者: Materials Research Society (出版日: 2000)
| 代替タイトル: | Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices 2 |
| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xiii, 314 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558995130
ISSN: 02729172
NCID: BA49023729
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| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
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