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[M] Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices Ⅱ: Symposium held november 29-December 1, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A.; MRS Vol.605 Vol.605 Vol.605 冊子体

著者: 出版者: Materials Research Society (MRS) (出版日: 2000)

版:
巻号: 巻: Vol.605
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: 314p; 24cm
件名:
分類:
識別子: ISBN: 9781558995130 ISSN: 02729172
アブストラクト:

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
218782 千現 プロシーディングス26 画像 MRS|P|11456 在架(利用可能)