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Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices Ⅱ: Symposium held november 29-December 1, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A.; MRS Vol.605 Vol.605 Vol.605 
著者: editors, Maarten P. de Boer, Arthur H. Heuer, S. Joshua Jacobs, Eric Peeters 出版者: Materials Research Society (MRS)
(出版日: 2000)
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| 巻号: | 巻: Vol.605 |
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 314p; 24cm |
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| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: | ISBN: 9781558995130 ISSN: 02729172 |
| アブストラクト: | |
| 注記: |
| 所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
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| 218782 | 千現 |
プロシーディングス26 
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MRS|P|11456 | 在架（利用可能） |