[M] Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices IV : symposium held November 25-28, 2001, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, Arturo A. Ayón ... [et al.]
著者: Materials Research Society Ayón, Arturo A. Buchheit, Thomas E. Kahn, Harold Spearing, S. Mark 出版者: Materials Research Society (出版日: 2002)

資料: Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices IV : symposium held November 25-28, 2001, Boston, Massachusetts, U.S.A.

本棚: 集密書庫60 (並木)

貸出区分: 標準

貸出状態: 在架（利用可能）

請求記号: MRS|P|687

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所蔵情報ID: 219241

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受入日: 2002年07月31日

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作成時刻: 2010/12/15 23:45:13

更新時刻: 2025/12/03 16:34:45