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[M] Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices Ⅳ: Symposium held November 25-28, 2001, Boston, Massachusetts, U.S.A.; MRS Vol.687 Vol.687 Vol.687 冊子体

著者: 出版者: Materials Research Society (MRS) (出版日: 2002)

版:
巻号: 巻: Vol.687
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: 318p; 24cm
件名:
分類:
識別子: ISBN: 9781558996236
アブストラクト:

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
219241 千現 プロシーディングス26 画像 MRS|P|11734 在架(利用可能)