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1	Microelectromechanical systems-materials and devices II : symposium held December 1-2, 2008, Boston, Massachusetts, U.S.A. Vengallatore, Srikar Bagdahn, Jörg Sheppard, Norman F., Jr. Materials Research Society (2009) UDC: MRS 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 211165 並木 集密書庫60 MRS|P|12549 在架（利用可能）
2	Microelectromechanical systems-materials and devices : symposium held November 26-28, 2007, Boston, Massachusetts, U.S.A. LaVan, David A. da Silva, Mark G. Spearing, S. Mark Materials Research Society (2008) UDC: MRS 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 211101 並木 集密書庫60 MRS|P|12487 在架（利用可能）
3	Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices IV : symposium held November 25-28, 2001, Boston, Massachusetts, U.S.A. Materials Research Society Ayón, Arturo A. Buchheit, Thomas E. Materials Research Society (2002) UDC: MRS 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 219241 並木 集密書庫60 MRS|P|11734 在架（利用可能）

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