[M] Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, Arthur H. Heuer, S. Jushua Jacobs
著者: Heuer, A. H. (Arthur Harold) Jacobs, S. Joshua 出版者: Materials Research Society (出版日: 1999)

資料: Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A.

本棚: 単行書27 (並木)

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作成時刻: 2023/03/26 11:44:35

更新時刻: 2025/12/15 09:49:05