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TEM characterization of microstructure and composition of nanostructures formed by electron beam induced deposition with tetrakis(trifluorophoshite)- metal precursors 
著者: Mitsuishi Kazutaka Takeguchi M Shimojo M Tanaka M Furuya K
(出版日: 2007)
https://hdl.handle.net/20.500.11932/143968 
| コレクション: | NIMS成果物 |
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オンラインリソース
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| 言語: | 不明 |
| ページ数と大きさ: | 2 p. (176 - 177) |
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| 識別子: | Handle URI: https://hdl.handle.net/20.500.11932/143968 |
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