[M] TEM characterization of microstructure and composition of nanostructures formed by electron beam induced deposition with tetrakis(trifluorophoshite)- metal precursors

著者: Mitsuishi Kazutaka Takeguchi M Shimojo M Tanaka M Furuya K (出版日: 2007)
https://hdl.handle.net/20.500.11932/143968

• 書誌詳細

コレクション:	NIMS成果物
形態:	オンラインリソース
言語:	不明
ページ数と大きさ:	2 p. (176 - 177)
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識別子:	Handle URI: https://hdl.handle.net/20.500.11932/143968
全文ファイル	NIMS Digital Library
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