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[M] Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces : Proceedings of the Fourth International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS'98), held in Ostend, Belgium, September 21-23,1998 Vols. 65-66 Vols.65-66 冊子体

著者: 出版者: Scitec Publications Ltd (出版日: 1999)

版:
巻号: 巻: Vols.65-66
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: 301p; 25cm
件名:
分類:
識別子: ISBN: 9783908450405 ISSN: 10120394
アブストラクト:

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
218003 千現 単行書9 画像 548.526|D|10794 在架(利用可能)