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[M] Ultra clean processing of silicon surfaces : proceedings of the Fourth International Symposium on ultra clean processing of silicon surfaces held in Ostend, Belgium, September 21-23, 1998 冊子体

editors, Marc Heyns, Marc Meuris and Paul Mertens
著者: 出版者: Scitec Publications Ltd (出版日: 1999)

雑誌・シリーズ情報:
  • Diffusion and defect data : solid state data Pt. B : Solid State Phenomena ; v. 65 & 66
(ISSN: 10120394)
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: xiv, 301 p. ; 25 cm
件名:
分類:
タグ:
識別子: ISBN: 9783908450405 ISSN: 10120394
アブストラクト:

注記:

Volumes 65-66 of Solid State Phenomena, ISSN1012-0394//Includes index
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
218003 並木 集密書庫8 画像 548.526|D|10794 在架（利用可能）