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Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A. 
editors, Arthur H. Heuer, S. Jushua Jacobs
著者: Heuer, A. H. (Arthur Harold) Jacobs, S. Joshua 出版者: Materials Research Society (出版日: 1999)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | ix, 246 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558994522
NCID: BA44647909
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| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
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