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[M] 薄膜の力学的特性評価技術 トライボロジー・内部応力・密着性
著者: 金原 粲 出版者: リアライズ社
(出版日: 1992)
形態: | 冊子体 |
言語: | 日本語 |
ページ数と大きさ: | 610p; 26cm |
件名: | |
分類: | |
タグ: |
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識別子: | |
アブストラクト: | |
注記: |
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著者: 金原 粲 出版者: リアライズ社
(出版日: 1992)
形態: | 冊子体 |
言語: | 日本語 |
ページ数と大きさ: | 610p; 26cm |
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