[M] 薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

金原粲 [ほか] 編
Creator: 金原, 粲 Publisher: リアライズ社 (Date of publication: 1992-03)

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Form:	Volume
Language:	Japanese
Physical description:	610p, 図版2p ; 27cm
Subject:
Classification:	UDC: 539.3
Tag:
Identifier:	NCID: BN10535145
Abstract:
Note:	各節末: 文献

Item identifier	Library	Shelf	Call number	Circulation status
529618	Namiki	Books 12	539.3|k|05571	Available On Shelf

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