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[M] 薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性
金原粲 [ほか] 編
Creator: 金原, 粲 Publisher: リアライズ社
Form: | Volume |
Language: | Japanese |
Physical description: | 610p, 図版2p ; 27cm |
Subject: | |
Classification: | |
Tag: |
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Identifier: |
NCID: BN10535145
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各節末: 文献 |
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