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薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性 
金原粲 [ほか] 編
著者: 金原, 粲 出版者: リアライズ社 (出版日: 1992-03)
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 610p, 図版2p ; 27cm |
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NCID: BN10535145
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