[M] 半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

宇佐美晶,徳田豊〔著〕
Creator: 宇佐美, 晶 徳田, 豊 Publisher: リアライズ社 (Date of publication: 1990-09)

• Detail

Form:	Volume
Language:	Japanese
Physical description:	628p ; 27cm
Subject:
Classification:	UDC: 621.382
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Identifier:	NCID: BN08950144
Abstract:
Note:	各章末:参考文献

Item identifier	Library	Shelf	Call number	Circulation status
529622	Namiki	Books 22	621.382|U|05575	Available On Shelf

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