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シリコン結晶欠陥の基礎物性とその評価法 
上浦洋一著
著者: 上浦, 洋一 出版者: リアライズ社 (出版日: 1997-05)
| 代替タイトル: | Basic properties of defects in silicon and their characterizing technologies |
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 6,192,10p ; 30cm |
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ISBN: 9784947655974
NCID: BA30607688
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参考文献: p179-192 |
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