[M]
シリコン結晶欠陥の基礎物性とその評価法 Basic Properties of Defects in Silicon and Their Characterizing Techniques 
著者:
上浦 洋一
出版者: リアライズ社
(出版日: 1997)
| 形態: |
冊子体
|
| 言語: |
日本語 |
| ページ数と大きさ: |
192p; 30cm
|
| 件名: |
|
| 分類: |
|
| 識別子: |
ISBN: 9784947655974
|
| アブストラクト: |
|
| 注記: |
|
|
529620 |
並木
|
単行書16 
|
621.382|U|05573 |
在架（利用可能） |