[M] 半導体集積回路用レジスト材料ハンドブック

著者: [山岡亜夫 監修] 出版者: リアライズ社 (出版日: 1996)

• 書誌詳細

形態:	冊子体
言語:	日本語
ページ数と大きさ:	293p; 30cm
件名:
分類:	UDC: 620.2
識別子:	ISBN: 9784947655899
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
218065	千現	参考図書23	620.2|Y|10817	在架（利用可能）

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