資料の表示

次へ 前へ 一覧に戻る : 詳細検索

[M] Electron-Beam, X-Ray,EUV,and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing V Proceedings SPIE-The International Society for Optical Engineering Vol.2437 Vol.2437 2437 冊子体

著者: 出版者: SPIE−The International Society for Optical Engineering (出版日: 1995)

雑誌・シリーズ情報:
  • Proceedings / SPIE - the International Society for Optical Engineering
版:
巻号: 巻: 2437
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: 450p; 28cm
件名:
分類:
識別子: ISBN: 9780819417855
アブストラクト:

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
216893 千現 単行書11 画像 621.385.833|W|9835 在架(利用可能)