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1	Nano- and microelectromechanical systems (NEMS and MEMS) and molecular machines : symposium held December 2-4, 2002, Boston, Massachusetts, U.S.A. Materials Research Society LaVan, David A. Ayón, Arturo A. Materials Research Society (2003) UDC: MRS 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 219498 並木 集密書庫60 MRS|P|741 在架（利用可能）
2	Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices IV : symposium held November 25-28, 2001, Boston, Massachusetts, U.S.A. Materials Research Society Ayón, Arturo A. Buchheit, Thomas E. Materials Research Society (2002) UDC: MRS 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 219241 並木 集密書庫60 MRS|P|687 在架（利用可能）
3	Thin films : stresses and mechanical properties XI : symposium held March 28-April 1, 2005, San Francisco, California, U.S.A. Buchheit, Thomas E. Materials Research Society Materials Research Society (2005) UDC: MRS 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 219805 並木 集密書庫60 MRS|P|875 在架（利用可能）

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