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Microelectromechanical systems-materials and devices : symposium held November 26-28, 2007, Boston, Massachusetts, U.S.A. 
editors, David A. LaVan ... [et al.]
著者: LaVan, David A. da Silva, Mark G. Spearing, S. Mark Vengallatore, Srikar 出版者: Materials Research Society (出版日: 2008)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xi, 325 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558999909
NCID: BA86491577
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Includes index//Other editors: Mark G. da Silva, S. Mark Spearing, Srikar Vengallatore |
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